Chinas eigene DUV-Lithografiemaschinen gehen in die Serienproduktion, Changxin Storage könnte einer der ersten Kunden werden

Ein von staatlichem Kapital unterstütztes Unternehmen in China hat mit der Serienproduktion von selbstentwickelten DUV (Deep Ultraviolet) Lithografiemaschinen begonnen, was einen wichtigen Fortschritt für die chinesische Halbleiterindustrie in Richtung der nationalen Ersatzproduktion darstellt. Das Unternehmen plant, bis 2026 etwa 5 DUV-Lithografiemaschinen zu produzieren und die Produktion bis 2027 auf etwa 20 Maschinen zu erhöhen. Obwohl es noch eine Lücke zur Produktionskapazität des niederländischen Lithografiegiganten ASML gibt (ASML lieferte im vergangenen Jahr 131 Immersions-DUV-Lithografiesysteme), bedeutet die Serienproduktion der inländischen DUV-Geräte, dass die Lieferkette für die Chipproduktion in China auf eine selbstbestimmte Kontrolle hinarbeitet. Quellen berichten, dass diese Charge von inländischen DUV-Lithografiemaschinen an führende Chiphersteller wie SMIC, Hua Hong Semiconductor und Changxin Storage geliefert werden soll. Changxin Storage, als Vertreter der chinesischen DRAM-Industrie, wird voraussichtlich ein wichtiger Anwender von fortschrittlichen inländischen Halbleiterfertigungsgeräten. Wenn die inländischen DUV-Geräte in den Produktionslinien von Changxin Storage und anderen Herstellern stabil betrieben werden, wird dies die Abhängigkeit der chinesischen Speicherchipindustrie von ausländischen Schlüsselgeräten weiter verringern.

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